一 雙室氣相沉積爐，有效直徑達(dá)2200毫米，有效高度3200毫米.
純阻性加熱，爐溫精度±3℃。
二 工業(yè)爐專業(yè)廠家設(shè)計、生產(chǎn)。合理的分區(qū)，精確的功率布置，巧妙的馬弗結(jié)構(gòu)設(shè)計，爐內(nèi)降溫可控，進(jìn)氣及冷卻管路簡單合理，安全，使用壽命延長。
三 爐內(nèi)外參數(shù)彩屏顯示，PID調(diào)節(jié)，人機(jī)交換界面，多路監(jiān)測，操作使用簡單。
四 真空潤滑系統(tǒng)采用油水分離技術(shù)，節(jié)約環(huán)保。
五 真空密封窺視鏡，爐內(nèi)情況可視。
六 雙塔過濾及有效的管道焦油清理設(shè)計。
七 雙室氣相沉積爐是復(fù)合材料生產(chǎn)企業(yè)的最佳選擇。
